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篤摯儀器（上海）有限公司
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產品中心
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
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康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100
平面度儀測量多種不同指標：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓；完整的分析系統：
?三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
康寧Corning Tropel FlatMaster平面度儀應用領域：
?實現單個或多個平面的光學非接觸一次性測量；
?適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料；
?適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/**化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰；
?適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面；
美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀，為精密部件的制造商提供了業界**的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。可以實現自動、快速、準確、穩定的測量，超過20年的工業應用，幾百臺的裝機量。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數進行精密測量。
平面度儀可測量技術參數：
| 精度 | 50nm （2.0μ″） |
| 重復性 | 15 nm（0.6μ″）（1 sigma） |
| 分辨率 | 5nm （0.2μ″） |
| 可測量工件尺寸 | 5mm-100mm |
| 動態測量范圍 | >100um |
| 測量數據點 | 230,000 |
| 測量時間 | 5秒 |
| 電源 | ～220V 50Hz |
